En vakuumbryter er en type bryter designet for å overvåke et spesifikt område av vakuumnivåer; det er også kjent som et vakuumrelé. Dens funksjon er å automatisk åpne eller lukke en kontrollkrets-og samtidig generere et elektrisk signal-når det faktiske vakuumnivået generert under drift når et forhåndsbestemt krav, og dermed instruere vakuumadsorpsjonsmekanismen til å utføre sin normale drift. Den er klassifisert som en komponent som er kritisk for både pålitelighet og sikkerhet.
Vakuumbrytere er kategorisert i tre typer: mekanisk, halvleder og pneumatisk bro. Mekaniske vakuumbrytere bestemmer endringer i vakuumtrykk ved å bruke mekanisk forskyvning-, et eksempel på dette er vakuumbryteren av typen diafragma-. Halvledervakuumbrytere, omvendt, bruker halvledertrykksensorer for å oppdage endringer i vakuumtrykk og er i stand til direkte å konvertere de detekterte trykksignalene til elektriske signaler.